E-RPNS600M腔室高頻脈衝等離子滲氮爐
E-RPNS系列代表了一款為高端製造設計的尖端鐘罩式脈衝離子滲氮系統。整合雙熱源加熱、AI智慧控制與航太級處理標準，E-RPNS爐具可實現超快速處理時間、卓越的層均勻性與深擴散性能，同時大幅降低能耗。
技術規格概述
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爐體架構：鐘罩式腔體配置
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電源類型：高頻脈衝直流/等離子源
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溫度均勻性：±5°C（主動加熱壁系統）
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處理時間：1-2小時（視應用而定）
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擴散層深度：>100 μm
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最大自訂溫度：高達900°C（用於鈦/特殊合金）
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工藝相容性：等離子滲氮、氮碳共滲、後氧化
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工業認證：AMS 2750/AMS 2759航太標準
主要特點與技術優勢
1. 雙熱源協同加熱（雙熱模式）
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複合加熱系統：利用輔助加熱系統搭配高能離子轟擊，實現快速且均勻的熱分佈。
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精確熱補償：輔助加熱模組維持腔體整體溫度均勻性，使等離子源可完全專注於產生高密度活性離子。
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全域主動加熱壁：整個腔體壁主動加熱至精確的工藝操作溫度，顯著降低工件間的熱梯度，溫度均勻性在±5°C以內。
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優異隔熱性能：封閉式全包裹隔熱設計大幅減少輻射熱損失並降低能耗。
2. 智慧AI控制與高速效率
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AI智慧晶片控制：由先進AI微處理器驅動，實現全流程自動化、精確參數調控與高操作可靠性。
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超快速處理：極高的等離子電離效率縮短週期時間。滲氮處理可在短短1-2小時內完成，效率較傳統工藝提升數倍。
3. 深擴散與優異微結構
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超深擴散層：可實現超過100 μm的擴散層深度與優異結合力，顯著提升疲勞抗性與磨損壽命。
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高密度與均勻性：均勻的等離子密度分佈消除孔隙與針孔缺陷，形成極為緻密且一致性極高的化合物層。
4. 多功能、安全與環保操作
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無弧與環保：採用純氮氣化學工藝，無起弧風險，提供符合嚴格全球環保標準的綠色無污染流程。
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多工藝能力：支援離子滲氮、氮碳共滲及離子滲氮+後氧化工藝。
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高溫自訂：提供高達900°C的自訂高溫配置，用於鈦合金、鉭合金與特殊金屬的專業滲氮。
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航太認證：完全符合AMS 2750與AMS 2759航太工藝標準設計。
